残余气体分析仪,泄漏检测,真空过程气体分析监测,四极质谱仪,四级质谱仪,四极杆质谱仪

残余气体分析
Residual Gas Analysis

　　

　　在真空室和真空工艺中，残余气体分析是一个常规目的。 Hiden 的 RC 和 LC 系列四极质谱仪提供了常规的、快速的、宽动态范围的残余气体分析，及测量组分的分压。这些是评价真空质量和工艺所必需的。

应用：
　　　真空室泄漏检测
　　　真空质量测量和监测
　　　残余气体分析
　　　真空过程气体分析/监测
　　　除气研究
　　　烘烤循环 /真空泵性能下降监测