真空工艺
Vacuum Processing
真空工艺需要对气体和污染物有严格的控制，
以保持和提高产品质量和产量。
英国 Hiden公司的HPR30系统是一个差动泵残余气体分析仪。在真空工艺中，其凹角取样孔可以从10E -4 mbar 到 0.5mbar压力范围内对气体组分变化进行高分辨率和快速的测量。如在沉积镀膜中可对过程中的气体组份、含量进行在线监测。
产品
RGA四极杆质谱仪
HMT高压残余气体分析仪
3F三级过滤四极质谱仪
HPR–30 真空过程气体分析仪
四极质谱仪组件
北京英格海德分析技术有限公司© 版权所有
银玄羽设计制作
以保持和提高产品质量和产量。 
