高纯气体供应对于许多工业和研究是非常重要的。气体的污染会对生产的质量和产量造成破坏性的影响。质谱仪可以检测纯气体中的污染物，并且对于绝大多数组分可以达到 ppm 级检测。 HIDEN 的气体分析系统可以实时地跟踪和监测指定的污染物，也同时可以扫描未知的组分。

应用包括
　　　　　人造卫星制造清除气体分析
　　　　　热均衡工艺中气体供给的污染物分析
　　　　　封闭的冷冻压缩空气污染物分析
　　　　　钢厂压延工艺中的高纯氢气分析
　　　　　半导体工艺气体供给