北京英格海德分析技术有限公司

服务于半导体工业的四极杆质谱仪


半导体制作包括真空、气体和等离子体工艺。为了达到先进的生产工艺和增加收益，这就需要高性能的工艺开发和工艺监测。应用：　　　残余气体分析　　　终点检测　　　等离子体表征　　　表面科学　　　 MBE沉积速率监测和控制