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飞行时间二次离子质谱仪的知识要点,一看便知

发布时间:2020-10-31浏览:396次

       飞行时间二次离子质谱仪作为一种检测材料的仪器。它是采用质谱技术分析表面原子层以确定表面元素组成和分子结构。其特点是高灵敏度和高分辨率。

  飞行时间二次离子质谱仪的基本结构:
  二次离子质谱仪视其应用之不同而有各种不同的型式,其基本构造可分为下列四大部分:
  (1)照射激发用的一次离子束的离子枪;
  (2)以能量选择由试品产生的二次离子能量过滤器;
  (3)进行质量选择的质谱仪;
  (4)放大、检测经质量选择後的二次离子检测输出信号。
  飞行时间二次离子质谱仪的原理:
  1.利用聚焦的一次离子束在样品表面上进行稳定的轰击,一次离子可能受到样品表面的背散射,也有部分进入样品表面,这部分离子把能量传递给晶格,当入射能量大于晶格对原子的束缚能是,部分原子脱离晶格向表面运动,并且产生原子间的级联碰撞,当这一能量传递到表面,并且大于表面的束缚能时,促使表面原子脱离样品,谓之溅射;
  2.上述一次离子引发的溅射大部分为中性原子或分子,也有少量荷电集团,包括带电离子、分子、原子团,按照荷质比经过质谱分离;
  3.收集经过质谱分子的二次离子,可以得知样品表面和体内的元素组成和分布。
  飞行时间二次离子质谱仪的应用很广,侦测表面污染、氧化、还原、吸附、腐蚀、触媒效应、表面处理等动态分析之表面研究工作,尤其可作微量元素分布,因此在材料、化学、物理、冶金及电子方面之发展,使用者很多。该产品不但可作表面及整体之分析,又可直接作影像观察,其灵敏度及解析能力甚高,由较小的氢至原子量很大的元素均可侦测,尤其对于同位素的分析更是有效。

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