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万万没想到,飞行时间二次离子质谱仪竟有这样的优势!

发布时间:2020-12-07   点击次数:437次
  飞行时间二次离子质谱仪是一种既能测试有机物,又能测试无机物的一种检测仪器,使用一次的离子源(Ga,Cs, O2, etc)轰击样品,产生二次离子,激发的二次离子被引入一个无场区(drift tube),自由飞行,飞行时间的长短,与离子的mass-to-charge ratio的二分之一此方成正比;也就是说,质量数越小的离子飞得越快,到达检测器的时间越短,反之,质量数越大的离子飞得越慢,到达检测器的时间越长,这样就可以实现质谱的分离。
 
  飞行时间二次离子质谱仪的技术优势:
 
  1. 优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度。可以检测到ppm或更低的浓度
 
  2. 深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率
 
  3. 小面积分析(10 µm 或更大)
 
  4. 检测包含H在内的元素及同位素
 
  5. 优良的动态范围(6 orders of magnitude)
 
  6. 在某些应用中可能用来做化学计量/组成成份
 
  飞行时间二次离子质谱仪的主要用途:
 
  1. 掺杂剂与杂质的深度剖析
 
  2. 薄膜的成份及杂质测定 (金属、电介质、锗化硅 、III-V族、II-V族)
 
  3. 超薄薄膜、浅植入的较高深度辨析率剖析
 
  4. 硅材料整体分析,包含B, C, O,以及N
 
  5. 工艺工具(离子植入)的高精度分析

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