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看完这篇文章,瞬间了解四极质谱仪

发布时间:2021-12-14浏览:286次

  四极质谱仪用于监控过程气体和基本真空条件的工具是Transpector XPR3L气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染,提高预防性维护程序的有效性和效率。
 
  一、四极质谱仪的功能:
 
  通过运行高达 10mTorr(可选 20mTorr)的 UHV,提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证;
 
  经济高效的过程监控器,可用于可扩展的生产设计;
 
  通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质,提高过程良率,减少碎片,提高产品质量;
 
  通过以高灵敏度和较小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染,加快 PM 恢复,提高生产力;
 
  可在 1 - 100 amu 质量范围内运行,能够检测各种材料、污染或副产品,确保您的投资安全,降低投资风险;
 
  与 FabGuard 监控和分析系统相兼容,提供可靠、先进的诊断和过程控制。
 
  二、四极质谱仪的典型应用:
 
  太阳能/光伏设备制造
 
  LCD 制造
 
  PVD 过程监控
 
  监控过程气体压力和气体比率
 
  暴露和鉴别污染
 
  检测和查找泄漏(空气、氦气、水及其他蒸汽)
 
  PM 恢复/故障排除和验证基本真空

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