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飞行时间二次离子质谱仪的基本使用要求

发布时间:2022-06-10浏览:36次

   飞行时间二次离子质谱仪是一种利用高能离子束轰击样品产生二次离子并进行质谱测定的仪器,可以对固体或薄膜样品进行高精度的微区原位元素和同位素分析。由于地学样品的复杂性和对精度的苛刻要求,在本领域内一般使用定量精度高的。

  
  1.静态分析要求一次离子束流要有较低的密度,因此,常常选用较大尺寸的束斑以便使得一定的灵敏度得以保持。面分布及深度剖面分析要求束斑直径小且可进行扫描,也应当相应地提高束流密度。初次意外,进行表面清洁处理也要求束流密度比较高。因此对次束流大小及束流密度的调节范围应当比较宽,并且选用的离子枪类型常常不同,并且对不同种类的一次离进行选用。
  
  2.离子流检测系统检测灵敏度、动态范围和响应速度应当尽可能高,并且相应的数据采集、处理和显示系统也应该有。
  
  3.还需带有中和作用的电子枪以便对绝缘样品进行分析。还常需有二次电子成像系统以便对表面形貌进行观察。
  
  4.SIMS,尤其是静态SIMS,在超高真空下工作为基本要求。因为在样品表面上注氧能够使二次离子产额提高和稳定,而且能够使溅射产额降低,所以注氧装置常常被要求携带。
  
  5.要求可以在超高真空下机械调节样品的位置,并且相应的送样、取样装置也应当配备,样品还应当进行加热、冷却、破碎和清洁处理等步骤。
  
  6.二次离子分析系统的总流通率要求尽可能高,适当的质量分析范围和质量分辨率需要具备,将质量歧视效应克服并且分析速度尽可能快。还要求可以对质谱计前二次离子能量窗口的位置和宽度进行调节。

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