飞行时间二次离子质谱仪在表面分析中具有很高的灵敏度。该方法利用一次离子激发样品表面微量二次离子,并根据二次离子飞向探测器的时间长短来确定离子质量。由于离子在TOF-SIMS中的飞行时间只与质量有关,所以它一次脉冲就可以得到全谱,离子利用率高,可以实现样品的静态分析。
二次离子质谱仪的飞行时间只取决于离子的质量。由于它一次脉冲可以得到全谱,离子利用率最高,可以实现样品几乎无损的静态分析。
1、有机质表面表征,能分析元素的面分布,分辨率在5-10nm之间。
2、鉴别金属,玻璃,陶瓷,薄膜或粉末表面的有机物层或无机层,能够分析有机物并直接输出分子式。
3、极小面积分析,最小区域直径为80纳米。
4、深度分辨率良好(0.1-1纳米),但是溅射速率非常慢(小于1μm/H)。
5、可以提供样品的三维图像信息。
6、同位素丰度分析(英文).
7、采用TOF-SIMS技术对产品表面膜层成分进行定性分析,采用TOF-SIMS技术对膜层成分进行定性分析。
8、当膜层和基材的截面出现了分层现象,但没有发现明显的杂质痕迹时,可以使用TOF-SIMS进行表面微量物质成分分析,以确定是否存在外来污染,检出限为ppm。