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过程气体分析仪

简要描述:HPR-30过程气体分析仪(Process Gas Analyser),适用于监测分析残余气体和真空过程。可检测反应室内存在的所有成分,以及系统析出的新组分。

  • 产品型号:HPR-30
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-09-03
  • 访  问  量:1368
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详细介绍

HPR-30过程气体分析仪应用:

· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
· 真空涂覆/ 等离子蚀刻
· 溅射沉积
· 污染物研究
· 基本压力辨别
· 泄漏探测/ 实质上的泄漏/脱附分析
· 除气/烘烤/泵效能
· 反应室/过程气体污染物

HPR-30过程气体分析仪特点:

· 简洁的桌上型,移动推车或控制台架结构
· Direct re-entrant流孔板,差式泵,以达到z适宜的灵敏度
· 连续取样从1mbar至 10-4mbar.
· 高灵敏度(至5ppb),质量数至1000amu
· 软离子化技术,分析复杂有机物,或表观MS研究
· 稳定性好(24h之上,峰高变化小于±0.5%)
· MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
· 气动阀自动控制;出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
· 自动、同时数据取得、分析,实时显示、报警。

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