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二次离子质谱仪有着静态和动态两种,本质上区别不大,都是可检测极低浓度的掺杂剂和杂质。仪器用高能电离轰击样品表面,使样品表面的原子或原子团吸收能量,并通过溅射产生二次粒子。这些带电粒子通过质量分析仪后,可以得到样品表面的信息光谱。

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