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二次离子质谱仪在很多领域有着重要意义

发布时间:2022-06-06浏览:60次

   二次离子质谱仪是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。

  
  通过质谱图可以用来获取样品表面的分子、元素及同位素的信息,可以探测化学元素或化合物在样品表面和内部的分布,也可以用于生物组织和细胞表面或内部化学成分的成像分析,配合样品表面扫描和剥离(溅射剥离速度可以达到10微米/小时),还可以得到样品表层或内部化学成分的三维图像。
  
  通过二次离子质谱的深度剖析来分析材料薄膜结构是一种独特的分析手段,尤其是对于分析不同薄层中的材料,以及相邻两层之间材料的相互影响。分析亚微米尺度下的特征、缺陷或者污染,对于诸多工业应用领域具有至关重要的影响,比如:半导体器件加工,硬盘磁头加工,特殊反射面,复合材料等等。
  
  此外,利用二次粒子质谱还是科技前沿问题的本质探索的有力工具,例如在生命科学领域可对单细胞可视化分析,可以得到药物在细胞内的吸收、分布、代谢等信息,还可以研究药物在组织或者细胞中的定位,对于提高药物的靶向性以及合理设计药物具有重要意义。

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