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二次离子质谱仪原理的基本特征介绍

发布时间:2022-07-19浏览:53次

   二次离子质谱仪是利用高能离子束轰击样品产生二次离子的质谱仪。主要包括一次离子源、进样室、质量分析仪、真空系统、数据处理系统等部分,绝缘样品还配有电荷补偿电子中和枪,根据分析目的不同,还有不同的离子源,如气体放源(O,Ar,Xe),表面电离源(如Cs),热隙源如C60,以及液态金属和团簇源(Bin,Aun,Ga)等。二次离子质谱仪原理的基本特征如下:

 
  1.它的信息深度很小(比1nm还小);能够对材料的Z外层(原子层)的结构进行分析。
 
  2.空间分辨率非常的高和样品表面结构(小于50nm)比较清晰。
 
  3.能够检测质量的范围包括原子量单位低于12,000的所有材料,包括H和He等元素。
 
  4.分子离子峰和官能团碎片峰能够同时给出;能够对化合物和有机大分子的整体结构方便地进行分析。
 
  5.双束离子源可用于深度解析度小于1nm的样品。
 
  6.使样品Z表层的1-3个原子的信息深度获得;
 
  7.能够检测同位素进行同位素分析;
 
  8.达到PPM-PPB水平的检测极限。
 
  9.能够对所有元素和化合物同时检测,离子转移率能够达到100%。
 
  10.使用GX的电子中和枪能够对绝缘材料进行准确分析。

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