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等离子体质量和能量分析仪

简要描述:Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪是一台结合质量和能量分析的仪器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。

  • 产品型号:EQP
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-09-03
  • 访  问  量:1398
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详细介绍

Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪应用:

· 刻蚀 / 沉积作用研究
· 离子植入 / 激光烧蚀
· 残余气体分析 / 泄漏检测
· 等离子体电极耦合,即在操作中遵从电极设定条件
· 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析

Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪特点:

· 软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动z小
· 45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
· 所有能量范围内,离子行程的z小扰动,及恒定离子传输
· 带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
· 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围
· 可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析
· Penning规和互锁装置可提供过压保护
· 信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
· 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft。 

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