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离子蚀刻探针-终点检测仪

简要描述:IMP(Ions Milling Probe)离子蚀刻探针-终点检测仪是自带差式泵的耐用的二次离子质谱仪,*的专业检测终点仪器。用于离子蚀刻控制以及优化工艺。适用于离子刻蚀过程中的二次离子和中性粒子分析。

  • 产品型号:IMP-EPD
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-09-03
  • 访  问  量:1007
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详细介绍

离子蚀刻探针-终点检测仪

应用:
· 终点检测
· 靶的纯度测定
· 质量控制/SPC
· 残余气体分析
特点:
· 高灵敏度的SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
· 离子光学透镜、能量分析器和离子源
· 真空规和安全互锁装置提供过压保护
· 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
· 可编程的DDE,平行数字数据I/O,RS232脚本通讯

 

应用:
· 终点检测
· 靶的纯度测定
· 质量控制/SPC
· 残余气体分析
特点:
· 高灵敏度的SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
· 离子光学透镜、能量分析器和离子源
· 真空规和安全互锁装置提供过压保护
· 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
· 可编程的DDE,平行数字数据I/O,RS232脚本通讯

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