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等离子体诊断

简要描述:ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断,是先进可靠的Langmuir探针。

  • 产品型号:ESPion
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-09-03
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详细介绍

ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断,是先进可靠的Langmuir探针。

·Hiden在被动射频补偿方面处于*地位,在所有的商业化探针中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电源引起)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率 

 

·获得数据速度:     15scans/s,

·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
·300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀,

·90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选
·ESPion 是所有商业化探针中速的脉冲等离子体探针,

·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路

·自清洗循环,防止探针污染
· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

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