当前位置:网站首页 > 产品中心 > 等离子体与表面分析 > 等离子体诊断 > ESPion等离子体诊断

等离子体诊断

简要描述:ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断,是先进可靠的Langmuir探针。

  • 产品型号:ESPion
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-11-22
  • 访  问  量:2622
相关文章/ RELATED ARTICLES
详细介绍
品牌其他品牌应用领域能源,电子

ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断,是先进可靠的Langmuir探针。

·Hiden在被动射频补偿方面处于较高地位,在所有的商业化探针中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 

·参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电源引起)。

·高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率。

·获得数据速度:15scans/s

·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析

·300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀

·90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选

·ESPion 是所有商业化探针中快速的脉冲等离子体探针

·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路

·自清洗循环,防止探针污染

·等离子体诊断经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
Contact Us
  • 联系QQ:52436437
  • 联系邮箱:info@extratech.com.cn
  • 联系电话:010 5272 2415
  • 联系地址:北京市海淀区四季青路8号郦城工作区235

扫一扫  微信咨询

© 2024 英格海德分析技术有限公司 版权所有  备案号:京ICP备05008133号-4  技术支持:化工仪器网    管理登陆    sitemap.xml

服务热线
13501238067

微信扫一扫