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二次离子质谱仪

简要描述:离子分析质谱仪/飞行时间二次离子质谱仪可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用技术的SIMS 探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

  • 产品型号:EQS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-09-24
  • 访  问  量:1481
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详细介绍

飞行时间二次离子质谱仪特点: 
1、高灵敏度脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围
2、SIMS 成像,分辨率在微米以下 
3、光栅控制,增强深度分析能力
4、45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 
5、所有能量范围内,离子行程的zui小扰动,及恒定离子传输
6、差式泵3级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
7、灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
8、Penning规和互锁装置可提供过压保护
9、通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件 MASsoft控制


应用:
1、静态 /动态SIMS
2、一般目的的表面分析
3、整体的前端离子源,便于RGA和 SNMS
4、兼容的离子枪/ FAB 枪
5、成分/污染物分析
6、深度分析
7、泄漏检测
8、与Hiden SIMS 工作站兼容


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